平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成30年度TCAD実習コースの内容を紹介します

7月18日(水)~20日(金)の3日間、産総研西事業所においてTCAD実習コースを実施しました。
今回の参加者は10名です。

初日は「Linuxの基礎」「プロセスシミュレーションの基礎」の講義。






2日目は「デバイスシミュレーションの基礎」の講義とスーパークリーンルームの見学の後、課題実習。

東大の平本教授の特別講義も行われました。







3日目は前日からの課題実習を仕上げ、発表を行いました。

「TCAD応用例」の講義で修了となりました。

修了式後、太田SCRステーション長を囲んで記念撮影。








感想(抜粋)

∗ 詳細な物理過程を様々なパラメーターで確認できるのが良いと感じた。また、GUIで動かすことが

   できるので直感的に分かりやすい。

∗ 課題をすることで実際のシミュレーションフローを学ぶことができ、非常に有用だった。

∗ MOSFETの動作・特性などの物理の話を、絵を見ながら学べて興味深かった。

∗ 理論モデルの復習も兼ねて、良い機会となった。Tr特性の競争は非常に良いカリキュラムだと思っ

   た。

∗ TCADを実際にどのように動かすか知ることができたので、中級コースでは研究に近いところで使

   いたいと思った。

∗ センサー層内の電場構造の解析という自らの研究にHyENEXSSを活かすとともに、こまめにTCAD

   に触れ、慣れていきたい。

∗ 物理モデル、実測をデータに基づいて解析し、より良いものができるようにしていきたい。

∗ Sim結果に対して、実測値と比較しながらモデルを追い込んでいけるようにしたい。

∗ 現在の研究をより詳しく評価するためにTCADを使って実測値との比較をしたい。