平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成30年度MEMS基本構造製作実習コース(5日間)の内容を紹介します

11月5日~9日にMEMS基本構造製作実習コース(5日間)が実施されました。
今回の参加者はアライアンス内育成対象者2名です。

初日午前は開講式、ガイダンス、安全教育。午後は
講義「MEMS概論の基礎」「プロセス・加工技術の基礎」
2日目はフォトリソグラフィーの実習
3日目~4日目の午前はエッチングの実習
4日目の午後はカンチレバー構造の計測の実習





5日目の午前はカンチレバーセンサの特性評価(実習)。午後は報告書作成、報告会、修了式。
自身で作製したカンチレバーを持ち帰っていただきました。



感想(まとめ)

∗ 一つ一つ詳しく説明してくださって、外国人である私も理解できました。

∗ パターニング(マスクlayer)の経験は自分の研究テーマで直接活用できると思います。

∗ シリコン以外の(金属、PZTなど)の加工もしてみたいと思います。

∗ 自身でMEMS技術を使い作製したカンチレバーを、振動させることができ嬉しかった。今後、学ん

   だ技術を有意義に役立てたい。