平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成27年度 産業技術総合研究所NIP(SCR超微細加工プロセスコース)の様子を紹介します

第1回NIP「SCR超微細加工プロセスコース」が、平成27年9月28日~10月2日の5日間にわたって開催されました。今回の受講生は2人です。
初日は、ガイダンスと安全教育につづき、      
300mm試作ラインの見学を行いました。


2~3日目は、微細加工に向けたリソグラフィー技術及びドライエッチング技術に関する講義と実ウエハー上の微細パターン寸法を電子顕微鏡を用いて評価・解析する実験を行いました。



4日目はトランジスタの微細化に伴う課題に関する講義に続き、300mmウエハー上に作り込んだゲート長100nm以下のトランジスタ電気特性を300mm用セミオートプロービングシステムを用いて実測、その課題に着目した特性解析を行いました。



写真↓トランジスタが表面に作り込まれた300mmウエハー
写真↘プロービングシステム内にウエハーがセットされている




最終日は報告書を作成し、全カリキュラムを終えました。
産総研TIA推進センター SCRステーション右田ステーション長から修了証書が手渡され、



5日間講師を務めた産総研 松木招聘研究員も
まじえて記念撮影。皆さんお疲れ様でした!




感想(抜粋)

∗施設内部の解説がきめ細かく、非常に勉強になった。

∗異分野からの参加だが、豊富な経験を持つ研究者の講義が非常に分かりやすいため、実習の内容も理解

  しやすく、非常に有意義な研修になった。

∗今回学んだ技術を、触媒、光触媒、電気化学反応などに応用したいと考えている。