平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成27年度筑波大学NIP 高機能ナノ微細加工実習コースの様子を紹介します

平成27年度に開催した高機能ナノ微細加工実習コースの様子を紹介します。
9月2日、3日、5日に講義を行い、11日、12日にサブテーマ毎に実習を行いました。

本コースの講義
• 半導体工学概論
• ドライエッチングとEBリソ技術
• μ-TAS概論
• ウエットエッチング技術
• 成膜技術
• クリーンルーム技術
• μ-TAS(プロセス例)
• MOSデバイス(プロセス例)
• FIB プロセス技術


サブテーマ
(A)EMOSキャパシタの作製と電気特性評価コース
CADによるMOSキャパシタ素子デザイン、Siウェハー洗浄、酸化膜形成、金属電極形成、電気特性評価



(B)FIB技術実践コース
    FIB-SEMの基本操作の習得、断面加工、断面の高分解能観察技術、EDX2次元元素マッピング技術、およびTEM薄片試料作成実習

(C)μ-TAS実習コース
    マイクロ流路設計技術、光学露光実習、PDMS転写技術、バイオ分析実習等、マイクロ流体デバイスを用いたバイオ分析チップ作成と分析実習