平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成27年度京都大学NIP電子線描画装置入門コースの様子を紹介します

平成27年度に開催した電子線描画装置入門コースの様子を紹介します。
開催期間の8月3日~6日のうち、前半2日間で講義、後半2日間で実技実習が行われました。

講義

電子線リソグラフィー全般とCP方式電子線描画装置の構造、原理、操作について






実習実技

Si基板上での直径100nmのピラー構造体作製を目標にして、大面積超高精度電子線描画装置を用いたパターニング後、ドライエッチングによりSiピラー構造体を作製し、最後にSEM観察を行い、設計通りの構造体が作製を確認する一連の工程を実施した。





Fig1 Si pillar pattern (Φ100nm, Height:200nm)

Fig2 Si pillar pattern (Φ100nm, Height:400nm)





感想(抜粋)

∗ 非常に有意義かつ楽しい講習でした。アドバンスコースでは、より複雑な形状の作成方法等につ

   いてお話を伺えればと思います。