平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成27年度京都大学NIP MEMSコース(前期・後期)の様子を紹介します

平成27年度に開催したMEMSコースの様子を紹介します。
本コースは、受講者の専門、ニーズに合わせて、個別に具体的な実施内容、実施形態を決定するオーダーメードカリキュラムでコースを行いました。
ナノテクノロジーハブ拠点(ナノハブ拠点)での微細加工装置の操作実習、デバイスの設計・試作トレーニング、京都大学工学研究科の講義聴講(H27年度後期の場合のみ科目等履修生または聴講生として可能)、本務校の授業履修、メーカーでの実習、などのメニューから、適宜組み合わせてカリキュラムを作成しました。
実施形態は、定期的(毎週、2週間毎、毎月)な実施、集中(1週間、2週間など)した実施、あるいは定期と集中を組み合わせた実施など多様な選択肢に対応しました。

内容
前期

(1)フォトリソグラフィおよびドライエッチングによるシリコン材マイクロフォースセンサの作製
(2)角速度センサの試作

前期は各センサの試作を実施するとともに、計測分解能など、センサの基礎特性を明らかにしました。それぞれの結果に基づき次期デバイスの設計を進めており、MEMSコース(後期)でも引き続きマイクロデバイスの開発に向け、積極的に取り組むこととして前期を終えました。


後期
(1)微小力を多点同時計測するためのマイクロピラーアレイデバイスの作製
(2)単一細胞配列のためのマイクロ流体デバイスの作製
(3)シリコンカンチレバーを用いたアレイ型フォースセンサデバイスの作製

後期は主にマスクレスアライナおよびD-RIE(Deep reactive ion etching)装置を用い、各デバイスの試作に取り組みました。更に、上記試作デバイスを用いた評価結果に基づき、細胞配列マイクロ流体デバイスの形状の最適化および作製を行い、デバイスの実証試験を行いました。

得られた成果は、前期の結果と合わせて国際学会(Micro TAS2015)等で発表しました。また、今回開発したデバイスによる評価手法は、その新規性、有用性が認められ「化学とマイクロ・ナノシステム学会 第32回研究会」において優秀発表賞を受賞しました。