平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成28年度産総研NIP SCR超微細加工プロセスコースの様子を紹介します

平成28年8月1日~5日の5日間、産総研NIP SCR超微細加工プロセスコースが開催されました。
参加者はアライアンス内育成対象者2名です。

初日はガイダンス、安全教育、大規模300mm試作ライン説明、微細MOSFET設計と微細加工・成膜技術の講義と試作ラインの見学。



2日目は微細加工向け先端リソグラフィー技術の講義と実習。







3日目は微細加工向けドライエッチング技術の講義と実習。







4日目は評価技術の必要性、MOSFETの動作原理の講義に続き、微細ゲートトランジスタ特性評価を行い、デバイス特性と微細加工との相関を解析・議論。






最終日は報告書を提出して修了。
森田SCRステーション長から修了証書の授与が行われました。
皆さん、お疲れ様でした。







感想(抜粋)

∗初めての実験でしたが、丁寧に指導してもらい有意義な研修でした。

∗今回学んだ技術や実験に対する考え方を研究に生かしたい。

∗研修では実験を通じて微細化における問題点と注目点に着目し、丁寧に教えてもらった。

∗実験分野の研究者とも連携して研究を進められる研究者になりたいと思うようになった。

∗微細加工でどのようなプロセスで工夫しているかわかったので、今後の研究、仕事に応用してみ

  たい。

∗今回の研修で得た視点を自分の研究に融合し、進めていきたい。

∗産総研での研修は貴重な経験だと思う。