平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成27年度NIMS NIP先端計測技術入門コース(表面解析)の様子を紹介します

平成27年度に4回開催された先端計測技術入門コース(表面解析)の様子を紹介いたします。
(平成27年度は第1回を5月、第2回を8月、第3回を11月、第4回を2月に開催しました)

NIMSが誇る世界最高水準の先端計測機器を活用し、最先端ナノ計測技術のエッセンスを習得する入門コースであり、表面解析に関連した基礎的な知識・技術の習得を目的とし講義と実習から構成される3つのサブコースを開設しました。初日の表面解析の基礎的な講義(表面解析-A、B、Cサブコース共通)の後、3つのサブコースに分かれて実習を行います。「表面解析-Aサブコース(STM)」では、超高真空走査型トンネル顕微鏡の初歩的な実習を行いました。
◦サブコースA:超高真空走査型トンネル顕微鏡(STM)
◦サブコースB:オージェ電子分光(AES)
◦サブコースC:走査型ヘリウムイオン顕微鏡(HIM)


○第1日(共通)
   表面解析の基礎(講義)








○第2日(サブコース選択、実習)
 〈サブコースA:超高真空走査型トンネル顕微鏡の初歩〉 STM探針の作製と清浄化、試料の調製と清浄化
 〈サブコースB:表面分析の初歩〉 電子分光器(CMA)の操作と調整、オージェ電子分光
 〈サブコースC:走査型ヘリウムイオン顕微鏡の初歩〉 イオン源先端の調製と評価、試料の準備、2次電子像と
   イオン像、分解能評価、絶縁体の観察

○第3日(サブコース選択、実習)
 〈サブコースA:同上〉
   Si(111)再構成表面の原子分解能観察とトンネル分光解析
 〈サブコースB:同上〉
   表面吸着種のオージェ電子分光、スパッタリング分析
 〈サブコースC:同上〉
   ナノリソグラフィーとガスデポジション



<第1回> 最終日に履修者全員(6名)に修了証を授与した。
<第2回> 最終日に履修者全員(4名)に修了証を授与した。
<第3回> 最終日に履修者全員(4名)に修了証を授与した。
<第4回> 最終日に履修者全員(9名)に修了証を授与した。



感想(抜粋)

∗今回、STMを触るのは初めてであり、表面解析自体、SEM/EDXを使ったことがあるのみでした

  ので、非常に有意義な経験となりました。また、講師の先生、他の受講生の方々といった全く

  異なるバックグラウンドを持つ方と情報交換を行えたことも、今度のキャリアアップに結びつ

  くものと考えています。

∗表面分析の手法だけでなく、真空装置の基礎的な部分、改造の方法などを幅広く学ぶことができ

  大変に有意義でした。ご指導くださった山内様に心より御礼申し上げます。

∗If there are much more this chance to participate like this course, it will be given so

  much help for enhancing our skill. It will be open our eyes in the different field.

∗The practical training was very nice, but unfortunately I did not understand much from

  the lecture. It would be great if classes of all presentation were in English.

∗今回の受講は、キャリアアップのためとは特に考えていませんでした。自分の中では、分析技術

  の幅を拡げ、業務に役立てることを主眼にしておりました。結果として、Heイオン顕微鏡が狙

  いとした試料評価に必ずしも適していないことが判明しましたが、いくつかの貴重な情報を得ま

  した。このような機会と準備・運営いただいたすべての方々にお礼申し上げます。

∗貴研究機関の実習の参加を通して、TEMの先端計測技術に対する意識が一層高まり、理解を深め

  ることができました。このような有意義な時間を提供して頂き、心より感謝申し上げます。

∗技術の習得だけでなく、講師の先生、他の受講者の方と話せる貴重な機会を得ました。

∗In my opinion, the training time may be need to be extended that can help to handle

  the technique to learners more easily.

∗It is indeed a great opportunity to take part this learning and for developing expertise

  on surface analysis. It will help us to conduct quality research.