平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成28年度産総研NIP MEMS 5日間コースの内容を紹介します

今年度から開講した〈MEMS 5日間コース〉の第1回目は10月17日~21日に開催されました(つくば東 集積マイクロシステム研究センター担当)。受講者は、アライアンス内の育成対象者4名でした。


初日 午前:開講式、ガイダンス、安全教育
午後:MEMS概論の基礎、プロセス・加工技術の基礎(講義)
実習を行う上での基礎知識と安全教育を通じてコースの概要を学んで頂きました。



2日目:フォトリソグラフィー(実習)

各日とも実習後には補足講義が行われました。ここでは、企業出身の技術者による研究開発における着眼点や量産化技術における留意点が解説されました。このように、講義を通じて受講生が民間企業の開発現場の「生の声」を学習するなど、今後のキャリアアップにつながる内容を提供しています。
3日目、4日目 午前:エッチング(実習)

4日目 午後:カンチレバー構造の計測(実習)

5日目 午前:カンチレバーセンサの特性評価(実習)

実習においては、典型的なMEMS構造体であるカンチレバー作製プロセス(フォトリソ、エッチング)と構造及び特性評価に取り組んで頂きました。

5日目 午後:報告書作成、報告会、修了式
修了式の後、集積マイクロシステム研究センター廣島センター長を囲んで記念撮影
皆さん、お疲れ様でした!








感想(抜粋)

∗実習では、予想以上に手を動かせました。

∗実習後の補足講義は量産での参考情報等が聞けて有用でした。

∗専門外で知識が無かったが、分かりやすく説明していただき非常にためになった。今後、どの

  ように使われていくのかを考え、建築分野に応用していきたい。

∗実際に自分でマイクロデバイスを製作しているため、他の方法は十分に参考になる。