平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成28年度産総研NIP MEMS 2週間コースの内容を紹介します

MEMS2週間コースは11月7日~18日に開催されました(つくば東 集積マイクロシステム研究センター担当。8/12インチMEMS試作製造ライン使用)。受講者は、アライアンス内の育成対象者3名でした。

初日午前:開講式、ガイダンス、試作ライン見学、午後:MEMS概論の基礎、プロセス・加工技術の基礎(講義)
2日目:安全教育、デバイス・設計技術の基礎(講義)、設計技術、カンチレバー技術の基礎(講義)

3日目から実習が始まり、各日とも実習後に補足講義が行われました。〈実習⇒講義〉のサイクルは理解を深めるのに役立っているようです。
3日目:フォトリソグラフィー(実習)、エッチング(実習)
4日目:フォトリソグラフィー(実習)
5日目、6日目:エッチング(実習)

7日目:フォトリソグラフィー(実習)、エッチング(実習)

8日目:洗浄(実習)、カンチレバー構造の計測(実習)
9日目:カンチレバーセンサの特性評価(実習)、ウェアラブルIoT研究チームの研究紹介(見学)


10日目:報告書作成、報告会
最後に修了式を行い、廣島センター長から修了証書が手渡されました。




感想(抜粋)

∗プロセスを失敗したときの対処法、企業での研究の取り組み方など、中々聞けないことを学ぶこ

  とができ満足しています。

∗曖昧な知識について、細かい部分まで詳しく聞くことができたので、知識や技術を身に着けるの

  に最適。少し内容をかじったことがある人にとって非常に有用だと感じる。

∗これほど装置が充実していて、大きなウエハを使える機会は中々ないし、技術だけでなく理論的

  な説明も丁寧にしていただけるので、初めてMEMSを経験する方だけでなく、経験者にとっても

  有意義なプログラムだと思います。

∗初心者の方も理解しやすい内容で、MEMSの基礎から学ぶことができます。作業の細かなノウハ

  ウも(企業経験のある方に)聞けるので、加工プロセスの一通りの知識が得られます。

∗1つの分野に固執せず、色々な分野のことを知ることは、研究分野を広げる新しい発見につなが

  ると思います。

∗実習後に講義というサイクルで非常に理解が進んだ。

∗実習でテクニカルなノウハウをその場で伺うことができ、細かな点までよく理解できた。