平成28年度産総研NIP MEMS 2週間コースの内容を紹介します

MEMS2週間コースは11月7日～18日に開催されました(つくば東 集積マイクロシステム研究センター担当。8/12インチMEMS試作製造ライン使用)。受講者は、アライアンス内の育成対象者3名でした。

初日午前:開講式、ガイダンス、試作ライン見学、午後:MEMS概論の基礎、プロセス・加工技術の基礎(講義)
2日目:安全教育、デバイス・設計技術の基礎(講義)、設計技術、カンチレバー技術の基礎(講義)

3日目から実習が始まり、各日とも実習後に補足講義が行われました。〈実習⇒講義〉のサイクルは理解を深めるのに役立っているようです。
3日目:フォトリソグラフィー(実習)、エッチング(実習)
4日目:フォトリソグラフィー(実習)
5日目、6日目:エッチング(実習)

7日目:フォトリソグラフィー(実習)、エッチング(実習)

8日目:洗浄(実習)、カンチレバー構造の計測(実習)
9日目:カンチレバーセンサの特性評価(実習)、ウェアラブルIoT研究チームの研究紹介(見学)


10日目:報告書作成、報告会
最後に修了式を行い、廣島センター長から修了証書が手渡されました。