平成26年度科学技術人材育成費補助事業 「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」

平成28年度産総研NIP MEMS5日間コース(第2回)の内容を紹介します

平成28年度MEMS 5日間コースの第2回は12月5日~9日に実施されました。参加者はアライアンス内育成対象者3名と一般の参加者2名の計5名でした。

初日午前は、開講式に続いてガイダンス、安全教育。午後はMEMS概論の基礎、プロセス・加工技術の基礎の講義を行いました。






2日目から5日目の午前までは実習です。各日実習の後に講義や質疑応答を行います。
2日目:フォトリソグラフィー
3日目~4日目午前:エッチング







4日目午後:カンチレバー構造の計測

5日目午前:カンチレバーセンサの特性評価
5日目の最終日は午後から報告書を作成し、報告会を行いました。修了式では集積マイクロシステム研究センター 松本副センター長から修了証書を授与され、最後に記念撮影を行いました。





感想(抜粋)

∗ MEMSの概念(作り方、設計指針)を理解できただけでなく、大学、研究機関、企業の方を交えて

   製品アイデアを考えるブレインストーミングのような時間も大変有用だった。

∗ 実習でのウエハの扱い方や支持基板の使い方が大変勉強になった。

∗ 質問の時間が多く、質問しやすい雰囲気があり、丁寧に教えてくださり分からなかったことも理

   解できた。

∗ 講義・実習共に今まで触れてこなかった分野を見ることができ、今後MEMS分野へ進むための良

   い経験になった。

∗ MEMSに関わる業務の前に工程を見ることができ、知識を入れることができ良かった。

∗ MEMS工程に初めて触れたので理論、原理を理解したい。

∗ 実際に製造プロセスを見ることができたのは貴重で、研究機関のMEMSを専門とする研究者像が

   少し想像できた。

∗ ウエハのエッチングプロセスも知らないことが多かったので、広い視野で自分の製造プロセスを

   見直したい。

∗ ミニマルファブを利用して、グラフェンを使ったMEMSデバイスの開発をするためのヒントが得

   られた。